




特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求
特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接,高純氬氣保護(hù)。安裝和試驗(yàn)檢測用計(jì)量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項(xiàng)施工方案,哪里有特種氣體廠家,并經(jīng)過業(yè)主審批后實(shí)施。主要設(shè)備材料進(jìn)場應(yīng)提供必要資料:產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報(bào)告;產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件;產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

電子特種氣體的介紹
電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān),特種氣體生產(chǎn)廠家,與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中,南通特種氣體,與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過450道,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。
其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點(diǎn)
分類
特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。


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